・大阪ガスリキッドが培った吸着技術を活かし、高純度ガスを不純物10ppb~50ppb 以下の超高純度ガス
へと精製致します。
・インライン式とゲッター式の2種類。低コストで超高純度ガスが簡単に得られます。
・インライン式は、既存のガス設備に取り付けるだけで使用可能です。
・詳細はお問い合わせください。
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